CDA - 用于半导体行业的洁净干燥空气
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什么是 CDA？
CDA 表示洁净干燥空气，是适用于半导体行业的压缩空气质量标准。该领域所需的空气质量等级远远超出了大多数其他应用领域所需的等级。有充分理由证明，几乎没有任何其他行业的污染物会造成如此严重和成本高昂的后果。
此外，虽然有些应用需要无油、无尘或干燥的压缩空气，但在半导体行业中，必须同时满足这三个条件。这是因为其洁净室中的任何水分、颗粒物/灰尘或油液都可能会损坏整个半导体产品批次，更重要的是，会破坏用于生产半导体的不锈钢机器组件。这可能造成数百万欧元和美元的成本损失。因此，空气质量至关重要，而可靠供应洁净干燥空气是关键所在。
根据 ISO 8573-1:2010 划定洁净干燥空气等级
那么空气的洁净度和干燥度必须达到什么等级？
它必须符合 ISO 8573-1:2010 Class 0 标准，这是空气质量等级的国际标准。
此标准定义了空气中可以包含的三种污染物类型中任何一种的含量。等级越低，空气质量越高。因此，Class 0 表示空气中的污染物含量最少。
为了满足半导体生产中洁净室的要求，空气应达到水、油和灰尘 Class 0 质量等级。
如何达到水、油和灰尘 Class 0 质量等级？
- 这一切都始于选择合适的空气压缩机。投资无油装置意味着半导体生产商无需再担忧其中一种污染物。
- 接下来是专用过滤器，可去除压缩空气中的灰尘或其他颗粒物，确保洁净室不含这些物质。您需要去除多种污染物才能达到 Class 0 等级。
这样可达到“洁净”目标，但如何达到“干燥”要求，以便消除腐蚀风险？
- 为此，您需要一台高性能干燥机，其压力露点 (PDP) 应低于 -70°C。可以通过干燥剂吸附式干燥机来实现这种 PDP。这些吸附式干燥机是为关键应用提供非常干燥空气的优化选择。
安装 CDA 压缩空气系统
但是，如何安装典型的 CDA 装置，以防止污染物进入洁净室并实现三重零含量质量等级？
- 首先是无油压缩机。由于半导体的生产需要大量能源，因此投资节能型号意义重大，这样可以大大降低运营成本。
- 接下来是预过滤器。它可收集压缩空气中的大部分颗粒物。这样一来，到达干燥机的空气就已经非常洁净，这有助于降低其维护需求。虽然吸附式干燥机在干燥空气方面发挥了很大作用，但可能会产生一些干燥剂粉尘。因此，新干燥的空气随后会流经两个后过滤器，它们用于过滤掉干燥剂粉尘并进一步净化空气。
- 在此阶段，仅剩下很小的颗粒物。现在，空气只需要再经过一个过滤器，这通常是 PTFE 薄膜过滤器，它利用表面过滤技术捕获小至 0.01 μm 的颗粒物。
完成这最后一步之后，洁净干燥空气现在可以在洁净室环境中使用，而不会影响半导体的生产。